微波等離子體的發(fā)生方法

微波等離子體的發(fā)生方法

 　 作為一種常用的微波放電裝置。微波振蕩器一般使用磁控管，這是由于磁控管屬自激振

蕩管，無需增幅器，使電源回路比較簡單的緣故。在電路上與低頻電路不同的是，微波電路使用立體元件。傳輸線最常用的是矩形金屬波導(dǎo)管。為了保護磁控管免遭負載側(cè)產(chǎn)生的反射波損傷，在波導(dǎo)傳輸線中需接入“隔離器”。特別是氣體放電這樣負載條件易變動的場合，隔離器尤顯必要。它可以讓正向傳輸波（入射波）幾乎無衰減地通過，而反向傳輸波（反射波）偏轉(zhuǎn)９０。之后被模擬負載吸收掉。入射波和反射波的功率用帶有定向藕合器的功率測量儀測定。在傳輸線終端大都利用空腔諧振器與放電管ａ合。為了調(diào)匹配，則在波導(dǎo)傳輸線中插入了三螺釘式匹配器。